Metalo plėvelių garinimas
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Raktažodžiai: vakuuminis garinimas, magnetroninis dulkinimas, reaktyvusis, ploni sluoksniai, nusodinimas, auginimas, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai
Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Elektronų patrankos galia iki 5 kW
Taikymo sritys: Plonų sluoksnių nusodinimas vakuuminio garinimo ir magnetroninio dulkinimo būdais