Metalo plėvelių garinimas
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys A7000E
Raktažodžiai:
vakuuminis garinimas, magnetroninis dulkinimas, reaktyvusis, ploni sluoksniai, nusodinimas, auginimas, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Elektronų patrankos galia iki 5 kW
Taikymo sritys:
Plonų sluoksnių nusodinimas vakuuminio garinimo ir magnetroninio dulkinimo būdais
Plonų sluoksnių nusodinimas vakuuminio garinimo ir magnetroninio dulkinimo būdais