Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Aprašymas:
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Raktažodžiai:
Ėsdinimas jonų pluošteliu, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm
Taikymo sritys:
Mikro ir nanodarinių formavimas
Mikro ir nanodarinių formavimas