Paviršinis mikroformavimas. Mikro ir nanodarinių ėsdinimas jonų pluošteliu
Aprašymas:

Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC

Raktažodžiai:
Ėsdinimas jonų pluošteliu, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm

Taikymo sritys:
Mikro ir nanodarinių formavimas
Užklausos forma