Tūrinis mikroformavimas. Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas
Aprašymas:

Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I

Raktažodžiai:
gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, didelio tankio plazma, ICP, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, gilus ėsdinimas, sluoksnių formavimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm

Taikymo sritys:
gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, tūrinis mikroformavimas
Užklausos forma