Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Aprašymas:
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Raktažodžiai:
gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, didelio tankio plazma, ICP, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, gilus ėsdinimas, sluoksnių formavimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm
Taikymo sritys:
gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, tūrinis mikroformavimas
gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas, tūrinis mikroformavimas