Valdomas skysčių garintuvas. Naudojamas tik su vakuumine technologine sistema. Atskirai nenuomojamas.
Aprašymas:
Valdomas skysčių garintuvas. Naudojamas tik su vakuumine technologine sistema. Atskirai nenuomojamas.
Raktažodžiai:
Valdomas skysčių garintuvas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Srautas iki 500 sccm
Taikymo sritys:
Kontroliuojamam skysčių garinimui ir įvedimui į vakuuminę plonų sluoksnių auginimo sistemą
Kontroliuojamam skysčių garinimui ir įvedimui į vakuuminę plonų sluoksnių auginimo sistemą