Elektroninė litografija
Aprašymas:

Elektroninės litografijos ir elektroninės mikroskopijos įrenginys su rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometru

Raktažodžiai:
Nanolitografija, elektroninė mikroskopija, rentgeno spindulių energijos dispersijos spektrometrija, litografijos procesai

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Techninė specifikacija:

Lauko emisijos elektronų šaltinis, greitinančioji įtampa keičiama nuo 20 V iki 30 kV, staliuko eigos kontrolė lazeriniu interferometru, sausa vakuumo sistema, bandinio dydis iki 102x102 mm, elektroninė mikroskopija, paviršiaus cheminė analizė nuo Be (Z=4) iki Am (95)

Taikymo sritys:
Elektroninės nanolitografija, elektroninė mikroskopija ir paviršiaus cheminė analizė
Užklausos forma