Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys su nanoįspaudimo litografijos priedu
Aprašymas:
Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys su nanoįspaudimo litografijos priedu
Raktažodžiai:
Eksponavimas, UV apšvita, fotolitografija, optinė litografija, nanoįspaudimo litografija, litografijos procesai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Ultravioletinės šviesos bangos ilgis: UV400: 350-450 nm; UV300: 280-350 nm; UV250: 240-260 nm (gilus ultravioletinis spinduliavimas), UV nanoįspaudimo litografijos priedas, minkštas vakuuminis kontaktas, kietas kontaktas (su pneumatiniu slėgiu), tinka 102x102 ir 127x127 mm fotokaukėms.
Taikymo sritys:
Precizinis tapdinimas su fotokauke, plonų fotorezisto sluoksnių eksponavimas ultravioletiniais spinduliais, nanoįspaudimo litografija
Precizinis tapdinimas su fotokauke, plonų fotorezisto sluoksnių eksponavimas ultravioletiniais spinduliais, nanoįspaudimo litografija