Vakuuminė kaitinimo sistema
Aprašymas:
Plonų sluoksnių auginimo metu, vakuuminėje kameroje galima užsiduoti ir kontroliuoti padėklo temperatūra. Kaitintuvas sudarytas iš specialioje keramikoje, nebijančiojo staigių ir didelių temperatūros pokyčių, įdėto kaitinimo elemento. Nuo padėklo temperatūros priklauso sintezuojamo sluoksnio kristalinė struktūra ir paviršius. Jie lemia sluoksnio savybes ir pritaikymo galimybes.
Raktažodžiai:
atkaitinimas sluoksnių vakuume atkaitinimas, kaitinimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:
Padėklo kaitinimas vakuume iki 900°C, bandinio maksimalus galimas dydis – 2x2 cm
Taikymo sritys:
Sluoksnių auginimas vakuume
Sluoksnių auginimas vakuume