Tūrinis mikroformavimas. Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas
Aprašymas:
Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas bei tūrinis mikroformavimas atliekamas su indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginiu Vision LL-I (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm).

Raktažodžiai:
Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Užklausos forma