Paviršinis mikroformavimas. Mikro ir nanodarinių ėsdinimas jonų pluošteliu
Aprašymas:
Mikro ir nanodarinių formavimas atliekamas su joninio ėsdinimo įrenginiu USI-IONIC (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm).
Raktažodžiai:
ėsdinimas jonų pluošteliu
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC