Paviršinis mikroformavimas. Mikro ir nanodarinių ėsdinimas jonų pluošteliu
Aprašymas:

Mikro ir nanodarinių formavimas atliekamas su joninio ėsdinimo įrenginiu USI-IONIC (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm).

Raktažodžiai:
ėsdinimas jonų pluošteliu

Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Užklausos forma