Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys CUBIVAP skirtas plonų Ag sluoksnių formavimui naudojant rezistyvinį garinimą.
Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba, ploni sluoksniai, vakuuminis nusodinimas, rezistyvinis garinimas
Mokslo kryptis:
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Bazinis slėgis:
- Bandinio dydis:
- Medžiagos: Ag
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba