IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Aprašymas:

-

Raktažodžiai:
Ėsdinimas jonų pluošteliu, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm

Taikymo sritys:
mikro- ir nanogamyba
Užklausos forma