IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Aprašymas:
-
Raktažodžiai:
ion beam etching,surface microfabrication,Ėsdinimas jonų pluošteliu,mikroformavimas,mikrofabrikavimas,sluoksnių formavimas
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm
Trumpas paslaugos aprašymas:
mikro- ir nanogamyba
mikro- ir nanogamyba