
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Raktažodžiai:
deimanto tipo anglis, DTAD, jonpluoštė sintezė, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Jonų energija 400-1000 eV
Deimanto tipo anglies dangų auginimas jonpluoštės sintezės būdu