Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Aprašymas:

Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema

Raktažodžiai:
deimanto tipo anglis, DTAD, jonpluoštė sintezė, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:

Jonų energija 400-1000 eV

Taikymo sritys:
Deimanto tipo anglies dangų auginimas jonpluoštės sintezės būdu
Užklausos forma