Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3
Aprašymas:
Vakuuminio garinimo įrenginys YBH-71D3
Raktažodžiai:
vakuuminis garinimas, ploni sluoksniai, metalo plėvelės, auginimas, nusodinimas, GaAs ominis kontaktas, sluoksnių formavimas, vakuuminiai metodai
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Elektronų patrankos galia iki 5 kW
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba