MBE: Epitaksinių sluoksnių auginimo sistema - KRATOS
Aprašymas:
Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Raktažodžiai:
Epitaksiniai GaAs sluoksniai, sluoksnių formavimas, epitaksija
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Techninė specifikacija:
- 8 kaitinimo talpos
- 8 kompiteriu valdomos sklendės
- Bandinių transportavimas vakuume
- Vakuumas >1E-10 Torr
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas