Optinių traktų rinkinys automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai
Raktažodžiai:
Laser,UV,holographic lithography,periodical structures,diffraction gratings,interference lithography,lithography,one dimensional,two dimensional three dimensional,Lazeris,holografinė litografija,perdioninės struktūros,difrakcinės gardelės,interferencinė litografija,litografija,vienamtės,dvimatės,trimatės,lazerinė technika
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
- Lloyd`o veidrodžio automatizuota holografinės litografijos sistema.
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba