LIoyd'o veidrodžio holografinės litografijos sistema
Aprašymas:
Optinių traktų rinkinys automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai
Raktažodžiai:
Lazeris, UV, holografinė litografija, perdioninės struktūros, difrakcinės gardelės, interferencinė litografija, litografija, vienamtės, dvimatės, trimatės, lazerinė technika
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
- Lloyd`o veidrodžio automatizuota holografinės litografijos sistema.
- Galima formuoti mažesnio nei 500 nm periodo struktūras
Taikymo sritys:
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba