Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys MA-750
Raktažodžiai:
Eksponavimas, UV apšvietimas
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
UV šviesos bangos ilgis 360-440 nm, didelis eksponavimo laukas iki 150 mm
Precizinis tapdinimas su fotokauke, plonų fotorezisto sluoksnių eksponavimas ultravioletiniais spinduliais