4 magnetronų plonų struktūrų formavimo įrenginys. Galimi magnetronų šaltiniai pastovios srovės (DC), kintamos srovės (Pulse DC), bei kintamo dažnio (RF). Bandinių temperatūra užnešimo metu gali būti palaikoma iki 300 laipsnių C.
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
4 magnetronų plonų struktūrų formavimo įrenginys. Galimi magnetronų šaltiniai pastovios srovės (DC), kintamos srovės (Pulse DC), bei kintamo dažnio (RF). Bandinių temperatūra užnešimo metu gali būti palaikoma iki 300 laipsnių C.
Atliekamas plonų funkcinių sluoksnių ir nanostruktūrų formavimas, naudojant pažangius fizikinius metodus, leidžiančius kurti paviršius su tikslingai valdomomis optinėmis, elektrinėmis, mechaninėmis ar kitomis savybėmis.