Terminio garinimo sistema integruota į įnertinės atmosferos boksą
Aprašymas:
Terminio garinimo sistema integruota į inertinės atmosferos boksą
Raktažodžiai:
terminis garinimas, inertinė aplinka, organinė elektronika, organinis šviesos diodas
Mokslo kryptis:
Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Vakuumui pasiekti naudojama dviejų pompų (rotacinės ir turbomolekulinės) sistema. Medžiagų garinimas atliekamas ne mažesniame nei 2x10-6 mbar vakuume. Vakuumo kameroje įrengti 4 terminiai garintuvai: 2 skirti organinėms medžiagoms ir 2 skirti metalo elektrodams garinti. Užgarinto sluoksnio storis sekamas dviemis kvarco kristalo rezonatoriais. Besisukantis bandinių laikiklis užtikrina tolygų garinamo sluoksnio pasiskirstymą bandinio paviršiuje.
Taikymo sritys:
Organinių šviesos diodų, tranzistorių ir fotovoltinių elementų gamybai.
Organinių šviesos diodų, tranzistorių ir fotovoltinių elementų gamybai.