Metalo ir puslaidininkio (Schottky ir ominių) kontaktų formavimas ir tyrimas
Aprašymas:
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.
Užtvarinių metalo ir puslaidininkio (Schottky) kontaktų formavimas vakuuminio garinimo arba magnetroninio dulkinimo būdais. Galima III-V puslaidininkių Schottky kontakto potencialinio barjero aukščio kontrolė. GaAs ominių kontaktų formavimas derinant AuGe sluoksnių auginimą ir atkaitinimą. Al-GaAs ominių kontaktų formavimas.
Raktažodžiai:
Schottky kontaktas, ominis kontaktas, vakuuminis garinimas, elektrinės savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
MPCVD: Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema - iplas Cyrannus I-6
IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S
RIE/PECVD: Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys - PK-2430
Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia
Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3
Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048
Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP
ICP RIE: Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys - PlasmaTherm Apex SLR
Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E
XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi