Deimanto tipo anglies dangų sintezė ir tyrimas
Aprašymas:
Paslauga yra skirta jonpluoštės sintezės arba plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės būdu auginti deimanto tipo anglies dangas (DTAD) iš angliavandenilių ir legiravimo medžiagų. Deimanto tipo anglis tai amorfinė anglies atmaina, kurios savybės gali būti keičiamos nuo tipiškų deimantui iki tipiškų grafitui. DTAD pasižymi dideliu kietumu, atsparumu dilimui bei korozijai, mažu trinties koeficientu, biosuderinamumu. Elektrinės ir optinės DTAD savybės gali būti keičiamos plačiose ribose. DTAD stebimas stiprus pjezobvaržinis efektas.
Raktažodžiai:
deimanto tipo anglies plėvelės (DLC), plonų sluoksnių technologijos
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Sutapdinimo ir eksponavimo įrenginys MA-750
Centrifuga fotorezisto ir kitų plonų sluoksnių formavimui
Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487
Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3
EBL: Elektroninės litografijos įrenginys - Raith e-Line Plus
XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi