Puslaidininkių paviršiaus savybių modifikavimas bei pasyvavimas cheminiais ir fiziniais metodais
Aprašymas:
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.
Raktažodžiai:
Puslaidininkių paviršiaus pasyvavimas
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70
Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia
Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048
Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E
XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi