Puslaidininkių paviršiaus savybių modifikavimas bei pasyvavimas cheminiais ir fiziniais metodais
Aprašymas:
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.
Raktažodžiai:
Puslaidininkių paviršiaus pasyvavimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Pikoampermetras/įtampos šaltinis
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema su pagrindu HM 2000S
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras
Spektroskopinis elipsometras
Ramano sklaidos spektrometras Renishaw in Via Spectrometer su priedais
Šviesolaidinis spektrometras AvaSpec-2048
Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema