Puslaidininkių paviršiaus savybių modifikavimas bei pasyvavimas cheminiais ir fiziniais metodais
Aprašymas:
Puslaidininkių paviršiaus savybės keičiamos naudojant cheminį skystos fazės tirpalų poveikį arba apšvitą žemos energijos jonais.
Raktažodžiai:
Puslaidininkių paviršiaus pasyvavimas
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Pikoampermetras / įtampos šaltinis - Keithley 6487
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70
Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia
Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048
Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E
XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi