Metalinių, puslaidininkinių bei dielektrinių sluoksnių formavimas vakuuminiais joniniais ir plazminiais metodais bei jų savybių tyrimai
Aprašymas:
Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa
Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Optinė sistema su skenuojančiu monochromatoriumi suteikia galimybę kontroliuoti formuojamų dielektrinių dangų optinį storį. Tuo pat metu storis matuojamas ir kvarciniu storio matuokliu. Padėklų temperatūra: 20 – 400oC Vakuumas kameroje: 10-3 Pa
Raktažodžiai:
metalai, dielektrikai, puslaidininkiai, ploni sluoksniai, vakuuminis garinimas, magnetroninis dulkinimas, jonpluoštė sintezė, radijo dažnio plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės, mikrobange plazma aktyvuotas cheminis nusodinimas iš garų fazės, struktūra, cheminės sudėtis, elektrinės savybės, optinės savybės, mechaninės savybės
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.
MPCVD: Mikrobange plazma aktyvuoto cheminio nusodinimo iš garų fazės sistema - iplas Cyrannus I-6
IBE: Joninio ėsdinimo įrenginys - USI-IONIC
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
FTIR: Furje transformacijos infraraudonosios srities spektrometras - Bruker Vertex 70
Dinaminio mikrokietumo matavimo sistema - Fischerscope HM 2000S
RIE/PECVD: Reaktyviojo ėsdinimo ir plazmocheminio auginimo įrenginys - PK-2430
Ramano sklaidos spektrometras - Renishaw inVia
Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3
Šviesolaidinis spektrometras - Avantes AvaSpec-2048
Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP
ICP RIE: Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys - PlasmaTherm Apex SLR
Spektroskopinis elipsometras - Semilab GES5-E
XPS: Universali rentgeno fotoelektronų ir jonų sklaidos spektroskopijos paviršių analizės sistema - ThermoFisher ESCALAB 250Xi