Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Aprašymas:
Ši įranga yra ISO5 klasės švariosiose patalpose.
Raktažodžiai:
nanogamyba,ploni sluoksniai,vakuuminis nusodinimas,magnetroninis dulkinimas,nanofabrication,thin film,vacuum deposition,magnetron sputtering
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
- Bazinis slėgis:
Trumpas paslaugos aprašymas:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas, mikro- ir nanogamyba