Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Aprašymas:
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Raktažodžiai:
diamond like carbon deposition,deimanto tipo anglis,DTAD,jonpluoštė sintezė,sluoksnių formavimas,vakuuminiai metodai
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
- Jonų energija 400-1000 eV
- Ribinis vakuumas kameroje: 4E-4 Pa
- DTAD nusodinimo slėgis: 1E-2 - 2E-2
Trumpas paslaugos aprašymas:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas