Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.
Aprašymas:
Magnetronas. Naudojamas tik sumontuotas vakuuminiame įrenginyje (kameroje). 3" skersmens keičiamos magnetinio lauko konfigūracijos magnetronas MAK Flexmou.
Raktažodžiai:
magnetronas, magnetroninis dulkinimas, nesubalansuotas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
Skersmuo 3", galima keisti magnetrono galvutės pasvirimo kampą +/- 45o
Taikymo sritys:
Plonų sluoksnių nusodinimas magnetroninio dulkinimo būdu
Plonų sluoksnių nusodinimas magnetroninio dulkinimo būdu