LIoyd'o veidrodžio holografinės litografijos sistema
Aprašymas:
Optinių traktų rinkinys automatizuotai LIoyd`o veidrodžio holografinei sistemai
Raktažodžiai:
Lazeris, UV, holografinė litografija, perdioninės struktūros, difrakcinės gardelės, interferencinė litografija, litografija, vienamtės, dvimatės, trimatės, lazerinė technika
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Techninė specifikacija:
- Lloyd`o veidrodžio automatizuota holografinės litografijos sistema.
- Galima formuoti mažesnio nei 500 nm periodo struktūras
Taikymo sritys:
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba
holografija ir litografija, mikro- ir nanogamyba