Plonų metalinių sluoksnių formavimas fizikiniu nusodinimo vakuume metodu
Aprašymas:
Terminiu garinimu dengiami ploni aliuminio, vario, chromo, titano, sidabro ir kt. sluoksniai. Sluoksnio storis 10-300 nm, kontroliuojamas kvarcinėmis svarstyklėmis.
Terminiu garinimu dengiami ploni aliuminio, vario, chromo, titano, sidabro ir kt. sluoksniai. Sluoksnio storis 10-300 nm, kontroliuojamas kvarcinėmis svarstyklėmis.
Raktažodžiai:
Terminis garinimas vakuume
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos