Elektronų pluošto litografijos paslaugos, lazerinėms, ultragarso bei kitoms technologijoms
Aprašymas:
Foto šablonų gamybą, naudojant elektronų pluoštų litografiją. Gaminamos truktūros skyra nuo 100 nm. Mikro ir nano struktūrų formavimas ant laidžių paviršių.
Raktažodžiai:
EBL, Litografija, 3D, struktūros
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos