Elektronų pluošto litografijos paslaugos, lazerinėms, ultragarso bei kitoms technologijoms
Aprašymas:
Foto šablonų gamybą, naudojant elektronų pluoštų litografiją. Gaminamos truktūros skyra nuo 100 nm. Mikro ir nano struktūrų formavimas ant laidžių paviršių.

Raktažodžiai:
EBL, Litografija, 3D, struktūros

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos
Užklausos forma