Paviršinis mikroformavimas. Mikro ir nanodarinių ėsdinimas jonų pluošteliu
Aprašymas:
Mikro ir nanodarinių formavimas atliekamas su joninio ėsdinimo įrenginiu USI-IONIC (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm).

Raktažodžiai:
ėsdinimas jonų pluošteliu

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Joninio ėsdinimo įrenginys USI-IONIC
Užklausos forma