Fenomenologinio modelio, aprašančio reaktyviojo joninio ėsdinimo metu paviršiuje vykstančius procesus, plonų dangų susidarymą, katalizės reakcijas ir kt., kūrimas
Aprašymas:

Fenomenologinio modelio, aprašančio reaktyviojo joninio ėsdinimo metu paviršiuje vykstančius procesus, plonų dangų susidarymą, katalizės reakcijas ir kt., kūrimas.

Raktažodžiai:
Katalizė, pavirčiaus šiurkštumas, difuzija

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Užklausos forma