Plazmocheminių technologijų taikymai: atrankusis ėsdinimas, ėsdinimo anizotropiškumas, paviršinio sluoksnio elementinės sudėties kitimas, inhibitorių susidarymas ir naudojimas, paslėptųjų sluoksnių sudarymas

Raktažodžiai:
atrankusis ėsdinimas, ėsdinimo anizotropiškumas, paviršinio sluoksnio elementinės sudėties kitimas, inhibitorių susidarymas ir naudojimas, paslėptųjų sluoksnių sudarymas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Elipsometras L117 Nr.166-AK
Ramano spektro sistema
Spektrofotometras Chema4-UV-Fiber
Dangų storio matuoklis Inficon XTM/2
Joninio ėsdinimo įrenginys
Diodinė AD vakuuminė sistema
Mikroskopas tamsaus lauko stebėjimui su priedais "NIKON Eclipse LV100D"
Užklausos forma