Plazmocheminių technologijų taikymai: elementariųjų ir sudėtingų puslaidininkių, dielektrikų bei laidininkų ėsdinimas aktyviųjų dujų plazmoje
Raktažodžiai:
elementarieji ir sudėtingieji puslaidininkiai; puslaidininkių, dielektrikų bei laidininkų ėsdinimas; aktyviųjų dujų plazma
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Elipsometras L117 Nr.166-AK
Ramano spektro sistema
Spektrofotometras Chema4-UV-Fiber
Dangų storio matuoklis Inficon XTM/2
Joninio ėsdinimo įrenginys
Diodinė AD vakuuminė sistema
Mikroskopas tamsaus lauko stebėjimui su priedais "NIKON Eclipse LV100D"