Nanokompozicinių sluoksnių sudarymas ir savybių tyrimas, skaidrių ir elektriškai laidžių plonųjų sluoksnių sudarymas, plonų sluoksnių sudarymo technologijos ir savybių tyrimas (apsauginės – kietos dangos, skaidrūs elektrodai, joninio laidumo sluoksniai, feromagnetinės dangos, sluoksnių nusodinimas garinimu vakuume, magnetroninis nusodinimas, elektrolankinis nusodinimas, garinimas elektroniniu spinduliu, reaktyvinis nusodinimas), plonų sluoksnių savybių modifikavimas lazerinės apšvitos ir terminio kaitinimo metodais
Aprašymas:
Nanokompozicinių sluoksnių sudarymas ir savybių tyrimas, skaidrių ir elektriškai laidžių plonųjų sluoksnių sudarymas, plonų sluoksnių sudarymo technologijos ir savybių tyrimas (apsauginės – kietos dangos, skaidrūs elektrodai, joninio laidumo sluoksniai, feromagnetinės dangos, sluoksnių nusodinimas garinimu vakuume, magnetroninis nusodinimas, elektrolankinis nusodinimas, garinimas elektroniniu spinduliu, reaktyvinis nusodinimas), plonų sluoksnių savybių modifikavimas lazerinės apšvitos ir terminio kaitinimo metodais.
Raktažodžiai:
ploni sluoksniai, fizikinis vakuuminias nusodinimas
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos