
-
Raktažodžiai:
Ėsdinimas jonų pluošteliu, mikroformavimas, mikrofabrikavimas, sluoksnių formavimas
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm
mikro- ir nanogamyba