
Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Raktažodžiai:
Epitaksiniai GaAs sluoksniai, sluoksnių formavimas, epitaksija
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika, Specializuota mokslinė įranga
Epitaksiniams GaAs sluoksniams auginti skirtos 8 kaitinimo talpos, kompiteriu valdomos 8 sklendės, bandinių transportavimas vakuume, vakuumas ne mažiau 1*10-10 Torr,
Epitaksinių GaAs sluoksnių auginimas,auginamų sluoksnių kontrolė