MBE: Epitaksinių sluoksnių auginimo sistema - KRATOS
Aprašymas:
Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Raktažodžiai:
Epitaksiniai GaAs sluoksniai, sluoksnių formavimas, epitaksija
Mokslo kryptis:
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Specializuota mokslinė įranga, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Specializuota mokslinė įranga, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Techninė specifikacija:
- 8 kaitinimo talpos
- 8 kompiteriu valdomos sklendės
- Bandinių transportavimas vakuume
- Vakuumas >1E-10 Torr
Taikymo sritys:
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas