Epitaksinų GaAs sluoksnių auginimo sistema KRATOS
Raktažodžiai:
Molecular beam epitaxy,GaAs.,Epitaksiniai GaAs sluoksniai,sluoksnių formavimas,epitaksija
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Specializuota mokslinė įranga, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
- 8 kaitinimo talpos
- 8 kompiteriu valdomos
plonų sluoksnių nusodinimas ir padengimas