
Preciziniai geometriniai linijiniai matavimai praeinačioje šviesoje.
Raktažodžiai:
submikroninių elementų kontrolė, pločio matavimai pralaidumo režime, mikroskopija
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Mikroskopo didinimas iki 1200 kartų, matavimo tikslumas 0.1 L/500 µm, čia L - matuojamos struktūros dydis
mikroskopija ir vaizdinimas