Lazerinis elipsometras yra tikslus optinis prietaisas, naudojamas plonų plėvelių storiui ir optinėms savybėms matuoti. Jame naudojama poliarizuota lazerio šviesa, kuriai atsispindėjus nuo bandinio analizuojami
Raktažodžiai:
lazerinis elipsometras,ploni sluoksniai,lūžio rodiklis,optinės savybės,laser ellipsometer,thin films,refractive index
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
- Lazerio spindulio bangos ilgis - 632.8 nm
- Plėvelių storis 0.001 - 1 µm
- Storio matavimų neapibrėžtis - ±(0.5 - 1) nm
- Lūžio rodiklio matavimo neapibrėžtis ±0.01
medžiagų apibūdinimas ir analizė