Ieškoti

Trijų magnetroninių šaltinių garinimo sistema
Aprašymas: Trijų magnetronų sistema, su kuria vakuuminėje kameroje galima sintezuoti dvikomponenčių arba trikomponenčių medžiagų plonus sluoksnius. Tai pat galima užauginti daugiasluoksnę sistemą susidedančia iš dviejų arba trijų skirtingų medžiagų sluoksnių. Katodų skersmuo 3 coliai, storis nuo 1 mm iki 6 mm. Tokie sluoksniai taikomi mikroelektronikoje ir nanoelektronikoje plonų sluoksnių (paprastai iki 1 vieno mikrometro storio) sintezei. Veikimo principas: fizikinis katodo medžiagos dulkėjimas. Plazmos jonų iš katodo išmušta medžiaga nusėda ant norimų padėklų.
Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma