
Radijo dažnio maitinimo šaltinis skirtas auginti keraminius plonus sluoksnius vakuume. Naudojama įvairios paskirties funkcinių dangų formavimui ant įvairių paviršių. Leidžia formuoti dangas labai dideliais greičiais.
Raktažodžiai:
ploni sluoksniai
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
4 magnetronų (2 colių skersmens katodai) užnešimo sistemos vakuuminis įrenginys, skirtas plonų dangų formavimui
Įvairių sluoksnių auginimas vakuume