
Plonų dangų formavimo sistema BY-1 – užnešimas garinant elektrolankiniu išlydžiu
Raktažodžiai:
ploni sluoksniai
Sveikatos technologijos ir biotechnologijos, Informacinės ir ryšių technologijos, Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Vakuuminis įrenginys su elektrolankinio išlydžio garinimo sistema, skirta plonų dangų formavimui
Sluoksnių auginimas vakuume