Plonų dangų formavimo sistema BY-1 – užnešimas garinant elektrolankiniu išlydžiu
Aprašymas:

Plonų dangų formavimo sistema BY-1 – užnešimas garinant elektrolankiniu išlydžiu

Raktažodžiai:
ploni sluoksniai

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos
Techninė specifikacija:

Vakuuminis įrenginys su elektrolankinio išlydžio garinimo sistema, skirta plonų dangų formavimui

Taikymo sritys:
Sluoksnių auginimas vakuume
Užklausos forma