Mikrojutiklių ir mikrovykdiklių kūrimas, projektavimas ir skaitmeninis modeliavimas. Mikroelektromechaninių elementų prototipų gaminimas in-house paviršinio ir giluminio mikromontavimo technologijomis. Kristalų sodinimas, mikrosurinkimas, testavimas. Prototipinių įtaisų su mikroelektromechaniniais elementais projektavimas, gamyba ir demonstravimas.
Raktažodžiai:
Jutikliai, vykdikliai, mikrojutikliai, mikrovykdikliai, projektavimas, technologijos
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos