PTVF
Ieškoti

Polimerinių mikro ir nano struktūrų perkėlimo į silicį bei kvarcą, tinka lezerinėms ir ultragarsinėms technologijoms
Aprašymas: Reaktyvus joninis ėsdinimas (RIE) – tai plazmocheminio ėsdinimo technologija, naudojama mikrogamybai. Techninės specifikacijos: ėsdinamos medžiagos: Si, SiO2 ir SiN, ėsdinimo dujos: CF4, CHF3 ir SF6, selektyvumas fotorezisto :> 02:01, selektyvumas Si sluoksnio :> 02:01.

Raktažodžiai: 3D, RIE

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma