Rentgeno spindulių energijos spektroskopija (angl. EDS arba EDX) yra analitinė technologija, naudojama elementų analizei arba cheminiam mėginio charakterizavimui. Paviršius charakterizuojamas tiriant mėginį per sąveiką tarp elektromagnetinės radiacijos ir medžiagos, analizuojant medžiagos skleidžiamus rentgeno spindulius reaguojant į susidūrimą su krūvį turinčiomis dalelėmis. Šis metodas gali būti taikomas plačioje cheminių elementų skalėje, kadangi kiekvienas elementas turi unikalią atominę struktūrą. Techninės specifikacijos: detektorius - SDD (silicon drift detector), energetinė skyra - 133, 129 ir 127 eV (Mn Kα) nuo 1 iki 100 000 cps, Skaičiavimo ruožas - 1 000 000 arba daugiau, Aktyvi sritis - 10 mm2 aptinkami elementai - nuo boro (5) iki americio (95) arba geriau.