Elektronų pluošto litografijos paslaugos, lazerinėms, ultragarso bei kitoms technologijoms
Aprašymas:
Foto šablonų gamybą, naudojant elektronų pluoštų litografiją. Gaminamos truktūros skyra nuo 100 nm. Mikro ir nano struktūrų formavimas ant laidžių paviršių.
Foto šablonų gamybą, naudojant elektronų pluoštų litografiją. Gaminamos truktūros skyra nuo 100 nm. Mikro ir nano struktūrų formavimas ant laidžių paviršių.
Raktažodžiai:
EBL, Litografija, 3D, struktūros
Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Išmanios aplinkos ir informacinės technologijos