Įrenginys gali vienu metu analizuoti kelis dujų komponentus. Tiriamos dujos per kapiliarą patenka į masių spektrometrą, kuris veikia vakuume. Spektrometras jonizuoja dalį dujų, o tuomet atskiria ir aptinka skirtingus komponentus pagal jų masės ir krūvio santykį. Dujų įleidimo sistema sumažina tiriamų dujų slėgį nuo 1000 hPa iki masių spektrometro darbinio slėgio.
Raktažodžiai:
null
Nauji gamybos procesai, medžiagos ir technologijos
Matavimų diapazonas: 1-100 amu
Minimali matuojama koncentracija: <100 ppb
Masių matavimo skyra: gretimoms smailėms (40/41 amu): <10 ppm
Didžiausiais matuojamas dujų slėgis: 1200 mbar
Dujų srauto ribos: 1-2 sccm
Kvadrupolinis masių spektrometras su vakuumine sistema dujų analizei per kaitinamą 2 m ilgio nerūdijančio plieno kapiliarą.