MMI
Ieškoti

Optinė litografija
Aprašymas: Optinė litografija – mikrotechnologijų procesas, skirtas plonų plėvelių ar tūrinių medžiagų paviršiui struktūrizuoti. Reikalingas piešinys šviesai jautraus rezisto sluoksnyje formuojamas, eksponuojant rezistą ultravioletiniais spinduliais per fotokaukę. Optinės litografijos metodu galima suformuoti 1 μm dydžio darinius.

Raktažodžiai: Optinė litografija, topologijos, vaizdo formavimas

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma