MMI
Ieškoti

Tūrinis mikroformavimas. Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas
Aprašymas: Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas bei tūrinis mikroformavimas atliekamas su indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginiu Vision LL-I (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 15 cm).

Raktažodžiai: Gilusis reaktyvusis joninis ėsdinimas

Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Indukcine plazma aktyvuoto reaktyviojo joninio ėsdinimo įrenginys Vision LL-I
Įranga jau užrezervuota
Nuo Iki
Įranga nerezervuota
Užklausos forma