Paviršinis mikroformavimas. Mikro ir nanodarinių ėsdinimas jonų pluošteliu
Aprašymas: Mikro ir nanodarinių formavimas atliekamas su joninio ėsdinimo įrenginiu USI-IONIC (tolygaus ėsdinimo srities skersmuo 8 cm).
Raktažodžiai: ėsdinimas jonų pluošteliu
Mokslo kryptis: Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika