MMI

Deimanto tipo anglies plėvelių auginimas
Aprašymas:
Paslauga yra skirta joniniu būdu auginti deimanto tipo anglies dangas (DTAD) iš angliavandenilių medžiagų. Sintezė atliekama su joninio DTAD nusodinimo įrenginiu bei joninio DTAD nusodinimo įrenginiu URM 3.279.053. Įrenginio parametrai: Ribinis vakuumas kameroje: 4·10-4 Pa DTAD nusodinimo slėgis: (1-2)·10-2 Pa Jonų šaltinio greitinanti įtampa: iki 2 kV Jonų srovės tankis: 0,05 – 0,25 mA/cm2 Solenoido srovė: 6A Naudojamos dujos: gali būti naudojamos inertiškos bei reaguojančios dujos.

Raktažodžiai:
deimanto tipo anglies danga

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Deimanto tipo anglies dangų auginimo jonpluoštės sintezės būdu sistema
Užklausos forma