MMI

Metalo plėvelių garinimas
Aprašymas:

Paslauga skirta metalinių ir dielektrinių dangų formavimui. Formuojamų dangų storis kontroliuojamas mikroprocesoriumi ir kvarciniu storio matuokliu. Įrenginio parametrai: Vakuumas kameroje: 10-4 – 10-5 Pa Dvi 6 kW galingumo elektronų patrankos su keturių padėčių persukamais tigliais Padėklų temperatūra: 20 – 400oC

Raktažodžiai:
Metalo plėvelių garinimas

Mokslo kryptis:
Diagnostinės ir matavimo technologijos, Naujos medžiagos aukštosioms technologijoms, Technologijos darniam vystymuisi ir energetika
Magnetroninio dulkinimo įrenginys - LH A700
Vakuuminio garinimo įrenginys - YBH-71D3
Terminio garinimo įrenginys - CUBIVAP
Užklausos forma